ASML称High-NA EUV光刻机已印刷首批图案,并向新客户交付第二台同类设备
近日ASML(阿斯麦)表示,本月将向第二位客户交付High-NAEUV光刻机,安装工作也即将开始。不过ASML并没有透露,具体交付给哪一家公司。其提供0.55数值孔径,与此前配备...
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